有源向量塑料薄膜三极管（TFT）显示器在二十世纪九十年代刚开始民用型至今，它已变成当代衣食住行必不可少的构成，其运用远不仅限于电视和智能机，它还存有于人们生活起居中的关键通讯和信息内容专用工具：腕表（智能穿戴设备）、家用电器、广告词、标识牌、小车等。文中关键探讨显示信息生产制造加工工艺块所必须的特种气体，并对各种各样汽体供货方式做好具体描述。

  TFT显示器生产制造与集成电路工艺生产制造层面有许多共同之处，例如：这二种生产制造全过程上都必须应用很多汽体、例如加工工艺流程中的堆积、刻蚀、清理和夹杂，也有别的流程应用的汽体种类也都较为类似。

  显示系统层次

  现阶段销售市场上带二种显示器：有源向量液晶显示器（AMLCD）和AMOLED。AMLCD和AMOLED的显示器基础构件同样。显示系统有4层：滤色层、塑料薄膜三极管电源开关层（汽体适用于这一层）、用以操纵色调挑选的快门速度层、RGB（红绿蓝）色调过滤装置。

  有关侧板/TFT

  显示器选用的塑料薄膜三极管为2D渐变色型三极管，类似FinFET以前的大宗商品CMOS。有源向量显示器每一清晰度有一个三极管，驱动器三极管内的一种RGB色调。随之显示器像素提升，三极管缩小，但不容易变小到半导体设备的亚μm级规格。比如，屏幕像素密度为325PPI的智能手环，其三极管尺寸约为2mm2，而80 PPI屏幕像素密度的4K电视机，三极管尺寸约为8mm2。

  优质氮气

  侧板种类

  显示器的塑料薄膜三极管机器设备关键有三种：非晶硅（a-Si）、超低温光伏电池（LTPS）和氢氧化物（MO），也称之为全透明非晶金属氧化物半导体材料（TAOS）。AMLCD控制面板应用a-Si一般是用以低分辨率显示器和电视，而高像素显示器选用LTPS三极管，但是因为成本费较高、扩展性受到限制，一般用以大中小型显示器。AMOLED控制面板应用LTPS和MO三极管，在其中MO机器设备一般用以电视和大中型显示器。工业氢气

  汽体的应用方法

  因为技术性变化，对比AMLCD控制面板，出产AMOLED控制面板需要应用的汽体还要产生变化。如图示，现阶段出产显示器时选用多种多样汽体。

  这种汽体可分成两大类：电子器件特种气体（ESG）和电子器件大宗商品汽体（EBG）。电子器件特种气体包含硅烷、三氟化氮、氟（当场造成）、六氟化硫、二氧化氮及其磷化氢化合物，占显示器生产制造中应用汽体的52％，而电子器件大宗商品汽体包含N2、氡气、氦气、co2、二氧化碳和氩气，占显示器生产制造中应用汽体的48％。

  混合气

  技术性发展趋势

  TFT-LCD（塑料薄膜三极管液晶显示器）是一种基本技术性。大屏使用MO/白色OLED（有机发光二极管）。中小屏使用LTPS / AMOLED。OLED面临的难点是<1微米粒子对产率的影响，此外由于掩码步骤增加，其成本远高于非晶硅（a-Si）。此外，OLED步骤中水分对生产良率具有影响。工业气体

  迁移率极限是改用MO和LTPS的主要原因之一，其目的是通过更高的分辨率，实现更好的观看体验等。

  MO面临的挑战在于OLED步骤后，如何避免IGZO金属化/潮湿造成的氧化，后者将导致产率下降。制造过程中需使用大量的N2O（氧化亚氮），这意味着可能需要考虑改变传统供应模式。

  虽然AMLCD显示屏目前仍是市场主流，但AMOLED显示屏增长迅速。目前约有25%的智能手机采用AMOLED显示屏，预计这一比例到2021年将达到约40%。OLED电视同样增长迅速，同比增长率达到两位数。根据IHS数据，在未来5年，AMOLED显示屏面板的收入预计年均复合增长率（CAGR）将达到18.9%，而AMLCD显示屏的收入同期CAGR为2.8%，所有显示屏总收入同期CAGR为2.5%。随着AMOLED显示屏快速增长，显示屏制造商加快了AMOLED制造设备的投资。